Способы сухой очистки пластин и подложек.
Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.
Смотрите также
Ртуть
Ртуть (лат. Hudrargyrum) – химический элемент 2 группы
периодической системы Менделеева; атомный номер 80, атомная масса 200,59. Ртуть
– элемент редкий и рассеянный, его содержание примерно ...
Список
сокращений
1.
БЕ
– буферная емкость.
2.
БР
– блок подготовки и закачки реагента.
3.
БРХ
– блок реагентного хозяйства.
...
Введение
Физическая химия – наука, объясняющая химические
явления и устанавливающая их закономерности на основе общих принципов физики.
Общая задача физической химии – предсказание
временного хода химичес ...