Способы сухой очистки пластин и подложек.

Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.

Смотрите также

Ртуть
Ртуть (лат. Hudrargyrum) – химический элемент 2 группы периодической системы Менделеева; атомный номер 80, атомная масса 200,59. Ртуть – элемент редкий и рассеянный, его содержание примерно ...

Список сокращений
1. БЕ – буферная емкость. 2. БР – блок подготовки и закачки реагента. 3. БРХ – блок реагентного хозяйства. ...

Введение
Физическая химия  – наука, объясняющая химические явления и устанавливающая их закономерности на основе общих принципов физики. Общая задача физической химии  – предсказание временного хода химичес ...