Способы сухой очистки пластин и подложек.
Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.
Смотрите также
Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Современный этап развития радиоэлектроники
характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех
радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложн ...
Водород
...
Ректификационная установка непрерывного действия для разделения 4,1 т/ч бинарной смеси ацетон - этанол
Ректификация — массообменный
процесс, который осуществляется в большинстве случаев в противоточных
колонных аппаратах с контактными элементами (насадки тарелки)
аналогичными используем ...