Способы сухой очистки пластин и подложек.

Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.

Смотрите также

Классификация методов АЭСА
После получения спектра следующей операцией является его аполитическая оценка, которую можно проводить объективным либо субъективным методом. Объективные методы можно подразделить на непрямые и пря ...

Приложение 4
Добыча нефти без газового конденсата за 1993 год в тоннах (по способам добычи) Российская Федерация Насосный                                          283708241 т. Электропогружными насос ...

Климатические воздействия и их характеристики. Радиационные воздействия их характеристика
...