Способы сухой очистки пластин и подложек.
Наряду с жидкостной обработкой в технологию изготовления ИМС в последнее время интенсивно внедряются различные способы сухой очистки. Наряду с традиционными термообработкой (отжигом) и газовым травлением успешно используют ионное и |плазмохимическое травление.
Смотрите также
Планирование дискриминирующих экспериментов
Для дискриминации гипотез используют
эксперименты различного типа.
Химические эксперименты. Различные
тестовые реакции часто позволяют определить вероятность участия того или иного
вещес ...
Ароматические ацетаминопроизводные
...
Жидкофазное каталитическое окисление фенольных соединений
Непрерывный рост и развитие промышленного сектора
экономики приводит к постоянному увеличению загрязнения окружающей среды. Одну
из наиболее высоких экологических нагрузок испытывают на себе ...