Расчет распределения примеси вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной)

Информация для студентов / Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании / Расчет распределения примеси вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной)
Страница 2

1.2.2 Расчет распределения Si-P.

Расчет распределения фосфора в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.

Переведем N0 в см-3. Атомная масса фосфора = 30,97

N0=0,02 % (массовых) = 1,81×10-2 % (атомных) = 9,05×1018 см-3.

Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для фосфора в кремнии k0=3,5×10-1 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.

Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=0,47; 0,74; 0,99.

Заполним расчетную таблицу.

Таблица 2 - Распределение фосфора и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).

Участок зонной

плавки

Участок направленной

кристаллизации

а

Nтв,

см-3

r , Ом×см

(по кривым Ирвина)

g

(a=10)

Nтв,

см-3

r , Ом×см

(по кривым Ирвина)

Vкр=2,5×10-3 см/с

0

4,25 1018

0,012

0

9 1018

0,0068

1

6,05 1018

0,009

0,2

1,01 1019

0,006

2

7,18 1018

0,0075

0,4

1,18 1019

0,0058

3

7,88 1018

0,0073

0,6

1,46 1019

0,0042

4

8,32 1018

0,0071

0,8

2,11 1019

0,0034

5

8,6 1018

0,007

0,9

3,05 1019

0,0024

6

8,76 1018

0,0069

0,99

1,03 1020

0,00085

7

8,87 1018

0,0069

–

–

–

9

9 1018

0,0068

–

–

–

Vкр=8,33×10-3 см/с

0

6,69 1018

0,0085

0

9,05 1018

0,0066

1

7,93 1018

0,0075

0,2

9,59 1018

0,0063

2

8,51 1018

0,0071

0,4

1,03 1019

0,006

3

8,8 1018

0,0069

0,6

1,15 1019

0,0057

4

8,93 1018

0,0068

0,8

1,38 1019

0,0052

5

9 1018

0,0068

0,9

1,65 1019

0,0045

7

9,03 1018

0,0066

0,99

3 1019

0,0024

8

9,04 1018

0,0066

–

–

–

9

9,05 1018

0,0066

–

–

–

Vкр=2,5×10-2 см/с

0

8,96 1018

0,0068

0

9,05 1018

0,0066

1

9,01 1018

0,0068

0,2

9,07 1018

0,0066

2

9,03 1018

0,0066

0,4

9,1 1018

0,0065

3

9,05 1018

0,0066

0,6

9,13 1018

0,0065

4

–

–

0,8

9,2 1018

0,0064

5

–

–

0,9

9,26 1018

0,0064

9

9,05 1018

0,0066

0,99

9,48 1018

0,0063

Страницы: 1 2 3 4

Смотрите также

Сера
Сера  S – химический элемент VI группы переодической системы Мендеева, атомный номер 16, атомная масса 32,064. Твёрдое хрупкое вещество жёлтого цвета. ...

Щелочноземельные металлы
...

Кислотные дожди
Термином "кислотные дожди" называют все виды метеорологических осадков - дождь, снег, град, туман, дождь со снегом, - рН которых меньше, чем среднее значение рН дождевой воды (сред ...