Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании

Информация для студентов / Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании

Техническое задание

на курсовую работу по дисциплине

«Физико-химические основы технологии микроэлектроники»

 

Студенту гр. 7033 Родину Н.Е.

      

1. Рассчитать распределение примесей вдоль слитка полупроводникового материала при очистке зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

материал                            кремний

примеси -               Ga,P и Sb

исходное содержание примесей (каждой)            0,02% (массовых)

Для трех скоростей  перемещения зоны     Vкр =1,5 ; 5 и 15 мм/мин.

2. Проанализировать бинарную диаграмму состояния Si -Ga   и представить графически область существования твердых растворов примеси, найти предельную твердую растворимость примеси и температуру предельной растворимости.

 Рассчитать и построить распределение указанной выше примеси  (Ga) в полупроводнике  после диффузионного отжига при различных условия диффузии:

· при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и при температуре, соответствующей максимальной растворимости примеси в полупроводнике; время диффузии – 30 мин.

· при температуре  950 оС; время диффузии – 30 мин.

· после перераспределения примеси, накопленной в приповерхностном слое полупроводника  при температуре  950 оС и времени диффузии – 30 мин . Условия перераспределения - полностью отражающая граница, температура 1150 оС, время 2 часа.

    Смотрите также

    Цель работы
    Цель данной работы состоит в разработке схемы переработки вторичного сырья (в данном случае карбидов тугоплавких металлов режущих инструментов их осколков, кусковые отходы), при заданных производит ...

    Выбор и обоснование схемы автоматизации производственного процесса
    Автоматизированные системы управления – это человекомашинные системы, обеспечивающие автоматический сбор, обработку информации и оптимизацию управления. АСУТП предназначены для выработки и реали ...

    Эволюция и кислород
    ИСПОКОН веков людей волновал вопрос, как возникли живой мир и они сами. Кажущаяся непостижимость происхождения организмов во всей их сложности и совершенстве неизменно толкала человечество к ...