Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании

Информация для студентов / Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании

Техническое задание

на курсовую работу по дисциплине

«Физико-химические основы технологии микроэлектроники»

 

Студенту гр. 7033 Родину Н.Е.

      

1. Рассчитать распределение примесей вдоль слитка полупроводникового материала при очистке зонной плавкой (один проход расплавленной зоной).

материал                            кремний

примеси -               Ga,P и Sb

исходное содержание примесей (каждой)            0,02% (массовых)

Для трех скоростей  перемещения зоны     Vкр =1,5 ; 5 и 15 мм/мин.

2. Проанализировать бинарную диаграмму состояния Si -Ga   и представить графически область существования твердых растворов примеси, найти предельную твердую растворимость примеси и температуру предельной растворимости.

 Рассчитать и построить распределение указанной выше примеси  (Ga) в полупроводнике  после диффузионного отжига при различных условия диффузии:

· при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и при температуре, соответствующей максимальной растворимости примеси в полупроводнике; время диффузии – 30 мин.

· при температуре  950 оС; время диффузии – 30 мин.

· после перераспределения примеси, накопленной в приповерхностном слое полупроводника  при температуре  950 оС и времени диффузии – 30 мин . Условия перераспределения - полностью отражающая граница, температура 1150 оС, время 2 часа.

    Смотрите также

    Бром
    БРОМ (лат. Bromum), Br - химический эле­мент VII группы периодической системы Мен­делеева, относится к галогенам, атомный номер 35, атомная масса 79,904; красно-бурая жид­кость с сильным не ...

    Анализ почвы
    Почва – особое природное образование, сформировавшееся в результате длительного преобразования поверхностных слоев литосферы под совместным взаимообусловленным взаимодействием гидросферы, а ...

    Способы получения синтез-газа из угля
    Газификация — высокотемпературный процесс взаимодействия углерода топлива с окислителями, проводимый с целью получения горючих газов (Н2, СО, СН4). Первым способом получения синтез-газа был ...