Заключение.
В заключении своего реферата приведу пример типового процесса обработки пластин кремния перед термическим окислением, который включает следующие операции:
1) обезжиривание в горячем (75-80°С) перекисно-аммиачном растворе;
2) промывание в проточной деионизованной воде (удаление продуктов реакции предыдущей обработки);
3) обработка в горячей (90-100°С) концентрированной азотной кислоте (удаление ионов металлов);
4) промывание в проточной деионизованной воде (удаление остатков кислот);
5) гидродинамическая обработка пластин бельичими кистями в струе деионизованной воды;
6) сушка пластин с помощью центрифуги в струе очищенного сухого воздуха;
7) травление в растворе фтористоводородной кислоты (снятие поверхностного слоя и удаление загрязнений).
Смотрите также
Эволюция и кислород
ИСПОКОН веков людей волновал вопрос, как возникли живой мир и
они сами. Кажущаяся непостижимость происхождения организмов во всей их
сложности и совершенстве неизменно толкала человечество к ...
Влияние природы газа-носителя и его параметров на качество разделения веществ в газовой хроматографии
Рассмотрим
влияние природы газа-носителя и его параметров на качество разделения веществ.
Для этого, прежде всего, сформулируем требования, которые предъявляются к
элюенту в газовой хромато ...
Кинетическая модель механизма компенсированного распада углеводородов на платине
Исследования
химии углерода получили в последние годы мощный импульс в связи с открытиями в
области материаловедения. А c точки зрения катализа до сих пор остаются
актуальными проблемы пони ...