Заключение.
В заключении своего реферата приведу пример типового процесса обработки пластин кремния перед термическим окислением, который включает следующие операции:
1) обезжиривание в горячем (75-80°С) перекисно-аммиачном растворе;
2) промывание в проточной деионизованной воде (удаление продуктов реакции предыдущей обработки);
3) обработка в горячей (90-100°С) концентрированной азотной кислоте (удаление ионов металлов);
4) промывание в проточной деионизованной воде (удаление остатков кислот);
5) гидродинамическая обработка пластин бельичими кистями в струе деионизованной воды;
6) сушка пластин с помощью центрифуги в струе очищенного сухого воздуха;
7) травление в растворе фтористоводородной кислоты (снятие поверхностного слоя и удаление загрязнений).
Смотрите также
Этиленгликоль
Спирты представляют собой соединения общей формулы
ROH, в которых гидроксильная группа присоединена к насыщенному атому углерода.
По номенклатуре ИЮПАК насыщенные спирты называют алканолами, ...
Ядерная энергетика
Атомная энергетика - область техники,
основанная на использовании реакции деления атомных ядер для выработки теплоты
и производства электроэнергии. В 1990 атомными электростанциями (АЭС) ми ...