Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Отчет по лабораторной работе Термодинамика
...
Полимеры
Литературный обзор
Получение
слоистых пластиков связано с изготовлением на разных этапах технологического
процесса слоистых наполнителей – тканей, бумаг, шпона - поверхность которых
по ...