Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Взаимодействие ПАВ с поверхностно-активными полимерами
...
Классификация металлов и их сплавов
...
Третий закон термодинамики
Понятие химического сродства. Известно, что многие
вещества реагируют друг с другом легко и быстро, другие вещества реагируют с
трудом, а третьи – не реагируют. Исходя из этого, вывели предположени ...