Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Главные элементы жизни: азот и фосфор
...
Синтез твердых растворов и исследования низкотемпературных фазовых превращений
В последнее время
наблюдается усиленный интерес к исследованиям твердофазных процессов с
применением ионных электролитов. Для этих исследований имеет большое значение создание
твердых элект ...
Атмосферная перегонка нефти
Нефть представляет собой
сложную смесь парафиновых, нафтеновых, ароматических и других углеводородов с
различными молекулярными массами и температурами кипения. Так же в нефти
содержаться с ...