Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Улучшение смазочных свойств дизельных топлив
Топлива
в дизельных двигателях являются смазочным материалом для движущихся деталей
топливной аппаратуры, трущихся пар плунжерных топливных насосов. В связи с этим
они должны обладать хорошими прот ...
Определение массы полимера криоскопическим способом
Мы
выбрали тему – «Определение молекулярной массы вещества криоскопическим
методом». Изучая высокомолекулярные соединения, мы отметили, что их важной
характеристикой является молекулярная м ...