Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Приложение 6
Подготовка нефти, включая
газовый конденсат, в тоннах
Российская Федераци 910610930
Западная Сибирь 708316453
Тюменская область ...
Синтез и анализ ХТС в производстве гидроксида натрия и хлора из водного раствора хлорида натрия
Химическая наука и химическая промышленность в
настоящее время являются одними из ведущих отраслей, которые обеспечивают
научно технический прогресс в обществе. Интенсивный рост данной отрас ...
Этанол
Спиртами
называются органические вещества, молекулы которых содержат одну или несколько
функциональных гидроксильных групп, соединенных с углеводородным радикалом.
Они могут
рассматр ...