Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Моделирование процессов ионной имплантации
...
Приложение 5
Добыча нефти включая газовый
конденсат, за 1993 г. в тоннах (по компаниям)
Российская Федерация 339653933
Западная Сибирь 237353903
Тюмень ...
Крашение натурального шелка бромакриламидными красителями
...