Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Отчет по практике на ОАО Пластик
...
Введение
Физическая химия – наука, объясняющая химические
явления и устанавливающая их закономерности на основе общих принципов физики.
Общая задача физической химии – предсказание
временного хода химичес ...