Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Жидкофазное каталитическое окисление фенольных соединений
Непрерывный рост и развитие промышленного сектора
экономики приводит к постоянному увеличению загрязнения окружающей среды. Одну
из наиболее высоких экологических нагрузок испытывают на себе ...
Возникновение Химической Термодинамики
...
Эволюционная химия
Тема
моего реферата: «эволюционная химия – высшая ступень развития химических
знаний». В нем будут рассмотрены вопросы, касающиеся места и роли химии в современной
цивилизации, задачи, конц ...