Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Главные элементы жизни: азот и фосфор
...
Вывод
В процессе производственной деятельности
образуются отходы, которые нарушают экологическое равновесие, загрязняя
окружающую среду, и снижают степень извлечения ценных компонентов, содержащихся
в ис ...
Винилхлорид
...