Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Нефть
...
Влияние дисперсности алюминия и каталитических добавок на характеристики горения систем на основе активного горючего-связующего
Современные
смесевые топлива состоят обычно из перхлората аммония, выполняющего роль
окислителя, алюминия (изредка магния) в форме мелкодисперсного сферического
порошка, и органического пол ...
Синтез диэтилового эфира малоновой кислоты. Свойства и основные методы получения сложных эфиров
...