Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Программа для поступающих в вузы (ответы)
...
Современные и перспективные требования к дизельным топливам
В таблице 6 приведены требования
к качеству дизельных топлив по стандарту EN 590.
Приведена тенденция снижения серы, увеличения ЦЧ с 1993 по 2000 гг.
Таблица 6 — Требования к качеству дизель ...
Диализ
...