Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Стеклопластик
...
Аммиак и аминокислоты, их роль в нашей жизни
...
Введение
В настоящее время развитие
производств, применяющих смесь азотной и серных кислот в качестве нитрующего
агента, привело к получению огромных количеств отработанных кислотных смесей.
Эти смеси с эк ...