Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Биография и научная деятельность М.В. Ломоносова
...
Ангидриды карбоновых кислот. Кетены. Нитрилы
...
Приложение 7
Статестические
данные добычи нефти и кол-во нефтяных скважин.
Год
...