Термообработка.

Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.

Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.

Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.

Смотрите также

Кефир
Кисломолочные продукты - это продукты, вырабатываемые сквашиванием молока или сливок чистыми культурами молочнокислых бактерий с добавлением или без добавления дрожжей или уксуснокислых бакт ...

Строительно-монтажная схема здания цеха и компоновка оборудования
Исходные данные: 1.      Географическое положение и климат: проектируемая стадия концентрирования серной кислоты расположена на промышленной площадке завода им. В.И. ...

Радиоактивность и радиация
...