Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Витамины и организм человека
Витамины – низкомолекулярные органические соединения различной
химической природы, необходимые для осуществления важнейших процессов,
протекающих в живом организме.
Для нормальной
жизнед ...
Составление квартальной отчетности
Представляется в течение года ежеквартально, состоит из бухгалтерского баланса (форма № 1) и отчета о прибылях и убытках (форма № 2). Хотя по желанию организация может представлять и иные отчетные фор ...
Каучук, строение, свойства, виды и применение в профессии коммерсанта
Я выбрала тему “Каучук”, так как она тесно
связана с моей профессией “Коммерсант”. Много непродовольственных товаров
изготовлено на основе синтетического каучука: Обувные товары, игрушки, сп ...