Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Биография и научная деятельность Юстуса Либиха
(1803-1873)
...
Азот и фосфор
Пятая группа Периодической системы включает два типических элемента
азот и фосфор – и подгруппы мышьяка и ванадия. Между первым и вторым
типическими элементами наблюдается значительное ...
Особенности изучения химических элементов в средней школе (на
примере водорода)
В современном мире порой возникают ситуации, которые представляют
реальную опасность для человечества. Чаще всего люди сами способствуют их
возникновению либо по недомыслию, либо из - за недостатка ...