Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Химия отрасли
Важнейшим
элементом в решении задачи выпуска продукции высокого качества является
технохимический контроль производства, заключающийся в проверке исходного сырья
и материалов при поступлени ...
Список сокращений
БР
– блок подготовки и закачки реагента.
БРХ
– блок реагентного хозяйства.
ДНС
– ...
Четвертая группа периодической системы.
По электронным структурам нейтральных атомов к углероду и
кремнию примыкают германий и его аналоги. Максимальная валентность
этих элементов, как по отдаче, так и по присоединению электро ...