Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Пиразолы, тетразолы и триазолы
...
Модификация биологически активными системами синтетического полиизопрена
В настоящее
время в резиновой промышленности применяют широкий спектр каучуков, однако
большую часть промышленного потребления составляют натуральный и синтетический
полиизопрены. До сих по ...