Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Выбор и обоснование схемы
автоматизации производственного процесса
Автоматизированные системы
управления – это человекомашинные системы, обеспечивающие автоматический сбор,
обработку информации и оптимизацию управления.
АСУТП предназначены для
выработки и реали ...
Химия пищеварения рационального питания
...
Углерод
Углерод
(лат. Carboneum), С - химический элемент IV группы периодической
системы Менделеева. Известны два стабильных изотопа 12С (98,892 %) и
13С (1,108 %).
Углерод известен с глубокой ...