Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Планирование дискриминирующих экспериментов
Для дискриминации гипотез используют
эксперименты различного типа.
Химические эксперименты. Различные
тестовые реакции часто позволяют определить вероятность участия того или иного
вещес ...
Амилолитические препараты
Амилолитические препараты широко выпускаются в нашей стране
и за рубежом. В основном это крупнотоннажное производство. Амилазы находят
применение почти во всех областях, где перерабатываетс ...
Абсорбционная установка
Ключевые слова: УСТАНОВКА, АБСОРБЦИЯ,
КОЛОННА, РАСЧЕТ, ТЕХНОЛОГИЯ, АММИАК, ТАРЕЛКА.
В общей части
обсуждены современные методы извлечения компонентов из газовых смесей. Принята
абсорбцио ...