Термообработка.
Сущность термообработки состоит в нагреве пластины или подложки до температуры, при которой происходят удаление адсорбированных поверхностью загрязнений, разложение поверхностных загрязнений и испарение летучих соединений.
Отжиг осуществляют в вакуумных или термических установках непосредственно перед проведением основных операций формирования полупроводниковых или пленочных структур.
Эффективность очистки зависит от температуры, максимальное значение которой ограничено температурой плавления очищаемых материалов и процессами диффузии примесей.
Смотрите также
Полистирол
...
Элементарные стадии с участием координационных и металлоорганических соединений в растворах и на поверхности металлов и оксидов
Элементарные стадии органических реакций,
катализируемых кислотами, основаниями, нуклеофильными катализаторами,
комплексами металлов, твердыми металлами и их соединениями в газофазных или
ж ...