Ионное травление.
Сущность ионного травления состоит в удалении поверхностных слоев материала при его бомбардировке потоком ионов инертных газов высокой энергии. При этом ускоренные ионы при столкновении с поверхностью пластин или подложек передают их атомам свою энергию и импульс.
* Ионное травление - процесс удаления загрязнений вместе с распыляемым в вакууме поверхностным слоем обрабатываемой поверхности при ее бомбардировке ускоренными ионами инертного газа.
Если во время столкновения энергия, передаваемая атому, превышает энергию химической связи атома в решетке, а импульс, сообщаемый атому, направлен наружу от поверхности, то происходит смещение атомов, их отрыв от поверхности - распыление. Для реализации этого процесса требуются определенные вакуумные условия, а ионы должны обладать определенными значениями энергий, достаточными для распыления материалов.
Разновидностью ионного травления является ионно-химическое (реактивное) травление, основанное на введении в плазму химически активного газа, обычно кислорода. При этом изменяется скорость травления вследствие химического взаимодействия между подложкой и добавленным газом.
Смотрите также
Третья группа периодической системы
Атомы элементов данной группы содержат во внешнем слое
максимально по три электрона. Поэтому тенденция к дальнейшему присоединению
электронов (с пополнением внешнего слоя до октета) не может быть д ...
Современные и перспективные требования к качеству дизельных
топлив. Ассортимент, качество и состав дизельных топлив.
Нефтеперерабатывающей
промышленностью вырабатывается дизельное топливо по ГОСТ 305—82 трех марок: Л —
летнее, применяемое при температурах окружающего воздуха 0 °С и выше; 3 —
зимнее, при ...
Вода, дарующая жизнь
Вода - первоисточник жизни. То, без чего невозможна жизнь.
Вода — единственная субстанция, которая встречается в природе в трех формах:
твердой (лед), жидкой и в виде газа.
Хроническое об ...