Ионное травление.
Сущность ионного травления состоит в удалении поверхностных слоев материала при его бомбардировке потоком ионов инертных газов высокой энергии. При этом ускоренные ионы при столкновении с поверхностью пластин или подложек передают их атомам свою энергию и импульс.
* Ионное травление - процесс удаления загрязнений вместе с распыляемым в вакууме поверхностным слоем обрабатываемой поверхности при ее бомбардировке ускоренными ионами инертного газа.
Если во время столкновения энергия, передаваемая атому, превышает энергию химической связи атома в решетке, а импульс, сообщаемый атому, направлен наружу от поверхности, то происходит смещение атомов, их отрыв от поверхности - распыление. Для реализации этого процесса требуются определенные вакуумные условия, а ионы должны обладать определенными значениями энергий, достаточными для распыления материалов.
Разновидностью ионного травления является ионно-химическое (реактивное) травление, основанное на введении в плазму химически активного газа, обычно кислорода. При этом изменяется скорость травления вследствие химического взаимодействия между подложкой и добавленным газом.
Смотрите также
Гомологические и аналитические пары спектральных линий
При изменении
температуры источника возбуждения спектра (ИВС) значительно изменяется
интенсивность спектральных линий, поэтому в качестве аналитических пар
спектральных линий используют гомологичес ...
Выбор реактора для проведения реакции окисления сернистого ангидрида в серный ангидрид
Задание
Обосновать выбор
реактора для окисления SO2.
Получить
максимальную степень окисления SO2, если изменяются давление, начальная температура и начальная
концентрация (Х ...
Ассортимент, качество и состав тяжелых видов моторных топлив
Стандарт на котельное
топливо — ГОСТ 10585—75 предусматривает выпуск четырех его марок: флотских
мазутов Ф-5 и Ф-12, которые по вязкости классифицируются как легкие топлива,
топочных мазу ...