Промывание пластин и подложек.

На различных этапах изготовления ИМС производят неоднократно промывание пластин и подложек. Для промывания применяют дистиллированную, бидистиллированную и деионизованную воду.

Промывание обязательно производится после обезжиривания и травления. Его назначение - удаление остатков загрязнений, продуктов реакции и остатков реагентов.

Смотрите также

Пасты, эмульсии. Пены, суспензии
...

Кремний, полученный с использованием геттерирования расплава
В бездефектной технологии изготовления ИС для уменьшения влияния термодефектов используются ме­тоды пассивного геттерирования примесей в пластинах. К таким методам относятся "внешнее г ...

Полимеры
Литературный обзор Получение слоистых пластиков связано с изготовлением на разных этапах технологического процесса слоистых наполнителей – тканей, бумаг, шпона - поверхность которых  по ...