Промывание пластин и подложек.
На различных этапах изготовления ИМС производят неоднократно промывание пластин и подложек. Для промывания применяют дистиллированную, бидистиллированную и деионизованную воду.
Промывание обязательно производится после обезжиривания и травления. Его назначение - удаление остатков загрязнений, продуктов реакции и остатков реагентов.
Смотрите также
Физико-химические свойства нефтей
...
Список
сокращений
1.
БЕ
– буферная емкость.
2.
БР
– блок подготовки и закачки реагента.
3.
БРХ
– блок реагентного хозяйства.
...