Промывание пластин и подложек.
На различных этапах изготовления ИМС производят неоднократно промывание пластин и подложек. Для промывания применяют дистиллированную, бидистиллированную и деионизованную воду.
Промывание обязательно производится после обезжиривания и травления. Его назначение - удаление остатков загрязнений, продуктов реакции и остатков реагентов.
Смотрите также
Гетероциклические соединения
«Гетерос» -
по-гречески разный. Это циклические соединения, в кольца которых, кроме
углеродных атомов входят атомы других элементов, например, азота, серы,
кислорода (N,S,O)
и др. они наз ...