Промывание пластин и подложек.
На различных этапах изготовления ИМС производят неоднократно промывание пластин и подложек. Для промывания применяют дистиллированную, бидистиллированную и деионизованную воду.
Промывание обязательно производится после обезжиривания и травления. Его назначение - удаление остатков загрязнений, продуктов реакции и остатков реагентов.
Смотрите также
Электрокинетические явления в дисперсных системах
Электрокинетические
явления были открыты профессором Московского университета Ф.Ф.Рейсом в 1808г.
при исследовании электролиза воды.
Явление
перемещения жидкости в пористых телах под дей ...
Титан
...
