Промывание пластин и подложек.
На различных этапах изготовления ИМС производят неоднократно промывание пластин и подложек. Для промывания применяют дистиллированную, бидистиллированную и деионизованную воду.
Промывание обязательно производится после обезжиривания и травления. Его назначение - удаление остатков загрязнений, продуктов реакции и остатков реагентов.
Смотрите также
Источники возбуждения спектров
В практике
атомно-эмиссионного спектрального анализа в качестве источников возбуждения
спектров применяют пламя, электрические дуги постоянного и переменного тока,
низко- и высоковольтную конденсир ...
Ядерная энергетика
Атомная энергетика - область техники,
основанная на использовании реакции деления атомных ядер для выработки теплоты
и производства электроэнергии. В 1990 атомными электростанциями (АЭС) ми ...