Промывание пластин и подложек.

На различных этапах изготовления ИМС производят неоднократно промывание пластин и подложек. Для промывания применяют дистиллированную, бидистиллированную и деионизованную воду.

Промывание обязательно производится после обезжиривания и травления. Его назначение - удаление остатков загрязнений, продуктов реакции и остатков реагентов.

Смотрите также

Синтез нанокристаллических полупроводниковых частиц
...

Введение
Цель практического эмиссионного спектрального анализа состоит в качественном обнаружении, в полуколичественном или точном количественном определении элементов в анализируемом веществе. В зависимост ...

Приложение 1
Структура потребности мира в энергии за 1993 год Всего           Нефть         Уголь                  Газ             АЭС           Прочие ______________________________________________________ ...