Промывание пластин и подложек.

Научная литература / Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин / Промывание пластин и подложек.

На различных этапах изготовления ИМС производят неоднократно промывание пластин и подложек. Для промывания применяют дистиллированную, бидистиллированную и деионизованную воду.

Промывание обязательно производится после обезжиривания и травления. Его назначение - удаление остатков загрязнений, продуктов реакции и остатков реагентов.

Смотрите также

Синтез твердых растворов
...

Приложение 1
Структура потребности мира в энергии за 1993 год Всего           Нефть         Уголь                  Газ             АЭС           Прочие ______________________________________________________ ...

Синтез замещенных пирролов
Пятичленные гетероциклические структуры, такие как пиррол, а также сопряженные молекулы, содержащие пиррольные фрагменты потенциально важны в качестве оптических электроактивных материалов. ...