Травление.
Электрохимическое травление кремниевых пластин производят в растворах, содержащих плавиковую кислоту, при возрастающей плотности тока. При этом вначале происходит образование на поверхности пластины слоя оксида кремния, в состав которого входит фтористокремниевый комплекс , окисляющийся в водных растворах с выделением водорода согласно реакции:
(6)
(7)
Затем происходит анодное растворение кремния в плавиковой кислоте:
(8)
Такой процесс называют также электрополировкой.
Электрохимическое травление применяют как для очистки поверхности пластин, так и для их локальной обработки.
Смотрите также
Полигалогенпроизводные алканов
...
Хитин-глюкановый комплекс грибного происхождения. Состав, свойства, модификации
Биополимеры
хитин и хитозан обратили на себя внимание ученых почти 200 лет назад.
Хитин был открыт в 1811 г. (Н. Braconnot, A. Odier), а хитозан
в 1859 году (С. Rouget), хотя свое нынешнее ...