Травление.

Страница 3

Электрохимическое травление кремниевых пластин производят в растворах, содержащих плавиковую кислоту, при возрастающей плотности тока. При этом вначале происходит образование на поверхности пластины слоя оксида кремния, в состав которого входит фтористокремниевый комплекс , окисляющийся в водных растворах с выделением водорода согласно реакции:

(6)

(7)

Затем происходит анодное растворение кремния в плавиковой кислоте:

(8)

Такой процесс называют также электрополировкой.

Электрохимическое травление применяют как для очистки поверхности пластин, так и для их локальной обработки.

Страницы: 1 2 3 

Смотрите также

Идеи алхимии
Алхимия (позднелат. alchemia, alchimia, alchymia) - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» произво ...

Синтез и анализ ХТС в производстве бензина
Задание В курсовой работе осуществлён синтез и анализ химико-технологической системы (ХТС) по производству бензина. На основе расходных коэффициентов и соотношения фракций готового про ...

Вода. Растворы. Основания. Галогены
...