Источники загрязнений.
Основными источниками загрязнений поверхности пластин и подложек являются: абразивные и клеящие материалы, кремниевая пыль при механической обработке; пыль в производственных помещениях; предметы, с которыми соприкасаются пластины и подложки (оборудование, инструмент, оснастка, технологическая тара); технологические среды; органические и неорганические реагенты, вода; одежда и открытые участки тела операторов и др.
Загрязнение пластин и подложек практически возможно на всех операциях технологического процесса изготовления кристаллов и сборки ИМС.
Смотрите также
Очистка газообразных промышленных выбросов
...
Коксохимическое производство
Основным сырьём для коксохимической промышленности
служат угли. Структура и строение углей могут быть изучены при помощи микроскопа.
Грубая структура угля, обнаруживаемая невооруженным глаз ...
Біогеохімічні цикли: структура, загальна характеристика, цикли вуглецю, азоту, кисню, сірки
...