Источники загрязнений.
Основными источниками загрязнений поверхности пластин и подложек являются: абразивные и клеящие материалы, кремниевая пыль при механической обработке; пыль в производственных помещениях; предметы, с которыми соприкасаются пластины и подложки (оборудование, инструмент, оснастка, технологическая тара); технологические среды; органические и неорганические реагенты, вода; одежда и открытые участки тела операторов и др.
Загрязнение пластин и подложек практически возможно на всех операциях технологического процесса изготовления кристаллов и сборки ИМС.
Смотрите также
Нефть
...
Химия Железа
...
Результаты ТД расчета и экспериментального исследования
системы Аl - АГСВ - каталитические
добавки
В данной главе
представлены данные термодинамического расчета характеристик базовых систем и
экспериментальные характеристики зажигания и горения исследуемых систем. ...