Теоретические основы метода
Большое разнообразие процессов взаимодействия электронов с веществом делает возможным использовать электроны для изучения разных характеристик вещества. Основной характеристикой электронов, которая определяет характер их взаимодействия с веществом и, следовательно, характер получаемой информации о веществе, является скорость электронов или, точнее, их кинетическая энергия.
С помощью электронных линз можно получить сфокусированный пучок электронов на поверхность объекта (электронный зонд). Получаемая при этом информация будет относиться к ограниченному участку поверхности (или объему) объекта. Электронно-зондовые приборы по существу могут давать микроскопические изображения, контраст которых обусловлен тем или иным эффектом взаимодействия электронов зонда с объектом (характеристическое рентгеновское излучение, упруго рассеянные или отраженные электроны и др.), а разрешающая способность обусловлена размером зонда и областью, в которой генерируется то или иное излучение[8].
На рис.20 показаны размеры областей объекта, относящихся к разным эффектам взаимодействия электронного луча с веществом.
Рис. 20. Области возбуждения в объекте разных процессов взаимодействия электронов с веществом (металл), используемых в электронно-оптических приборах для анализа состава или микроструктуры (а), и те же области, но при разной энергии электронов зонда (б):
1—падающий пучок электронов; 2 — поверхность объекта (мишень); 3—первичное возбуждение рентгеновских лучей; 4 — граница возбуждения рентгеновских лучей торможения; 5—область возбуждения вторичного (флюоресцентного) рентгеновского излучения; 6 — область рассеяния рентгеновских лучей и дифракция Косселя; 7—ток образца; 8 — возможное разрешение для рентгеновского микроанализатора (Rх); 9—диаметр зонда; 10 — область, от которой регистрируются ОЖЕ- электроны: 11 — ВЭ и РЭ- области, от которых регистрируются вторичные и упруго рассеянные электроны V1; V2— области возбуждения при разном ускоряющем напряжении; V1> V2[8]
Наиболее универсальное значение имеют регистрация вторичных электронов и регистрация отраженных (или «рассеянных обратно») электронов. Те и другие электроны улавливаются коллектором, установленным возле образца, преобразуются в электрический сигнал, который усиливается и затем направляется к электронно-лучевой трубке, где он модулирует яркость электронного луча, строящего изображения на экране этой трубки.
Смотрите также
Основы химии
...
Характеристика исходного сырья
Добываемая из скважин эмульсия
представляет собой многофазную систему, состоящую из нефти, пластовой воды и
попутных нефтяных газов. Нефть представляет собой химически сложную компонентную
смесь, ...
Химия и запахи
...