Геттерирование
Процесс геттерирования основан на трех физических эффектах:
-освобождение примесей или разложение протяженных дефектов на составные части.
-диффузия примесей или составных частей дислокаций.
-поглощении примесей или собственных межузельных атомов некоторым стоком.
Рассмотрим четыре основные механизма геттерирования примесей.
1. Образование пар ионов.
Диффузия фосфора является эффективным методом геттерирования. Профиль распределения таких примесей, как медь, которая в основном находится в междоузлиях в решетке нелегированного кремния и диффундирует по межузельному механизму, принимает форму диффузионного профиля распределения фосфора. Атомы меди занимают положения в узлах кристаллической решетки кремния в области, легированной фосфором, а затем захватываются вакансиями, расположенными около атомов фосфора, образуя пары Р+Сu3- . Энергия связи и коэффициент диффузии ионных пар определяются обоими ионами.
2. Геттерирование с использованием нарушенных слоев.
Геттерируюшее действие дефектов было исследовано с использованием пескоструйной обработки, механического абразивного воздействия ультразвуком или шлифованием. Особенности дефектов зависят от концентрации и вида имплантированных частиц.
Оптимальная температура геттерирования определяется для каждого конкретного случая. Время жизни неосновных носителей в слое, имплантированном аргоном, существенно увеличивается после отжига при температуре 850 С.
3. Внутреннее геттерирование
Геттером может служить преципитаты SiOx и комплексы дислокаций, присутствующие в объеме кремниевой подложки после предварительной имплантации в нее кислорода. Воздействие этих преципитатов на дислокации приводит к тому, что последние действуют в качестве стока для примесей тяжелых металлов, тогда как поверхностные области становятся свободными от дефектов.
Смотрите также
Расчет проектной себестоимости продукции.
В
курсовом проекте в зависимости от характера продукции, выпускаемой
проектируемым объектом, рассчитывается ее полная или производственная
себестоимость, или внутрицеховые затраты по данному переде ...
Полимеры, содержащие 6-метилурацил и его производные
Исследовано
влияние 6-метилурацила и некоторых его производных на радикальную полимеризацию
метилметакрилата. Синтезирован эпоксиакриловый олигомер на основе
эпоксидсодержащих урацилов и ег ...
Химия запахов
Почти 2000 лет назад античный учёный, поэт
и философ Тит Лукреций Кар полагал, что в носовой полости есть крошечные поры
разных размера и формы. Каждое пахучее вещество,
рассуждал он, испус ...