Диффузионная модель процесса ВГ.
n эффективность геттерирования является функцией температуры, причем существует оптимальная температура для максимальной эффективности этого механизма геттерирования;
n геттер (преципитат SiO2) действует не только как сток для примесей, но и как источник междоузлий Si, которые активируют процесс ВГ;
n собственные междоузлия кремния, инжектируемые растущим преципитатом в объем кристалла, взаимодействуют с геттерируемыми атомами, и напряжения влияют на увеличение дрейфового потока.
Смотрите также
Электропроводность электролитов
Электролиты (от электро и греч. lytos -
разлагаемый, растворимый), жидкие или твёрдые вещества и системы, в которых
присутствуют в сколько-нибудь заметной концентрации ионы, обусловливающие
...
Кобальт
...