Диффузионная модель процесса ВГ.
Страница 2
n эффективность геттерирования является функцией температуры, причем существует оптимальная температура для максимальной эффективности этого механизма геттерирования;
n геттер (преципитат SiO2) действует не только как сток для примесей, но и как источник междоузлий Si, которые активируют процесс ВГ;
n собственные междоузлия кремния, инжектируемые растущим преципитатом в объем кристалла, взаимодействуют с геттерируемыми атомами, и напряжения влияют на увеличение дрейфового потока.
Страницы: 1 2
Смотрите также
Первая группа периодической системы
Структура внешних электронных слоев в атомах элементов
I группы позволяет прежде всего предполагать отсутствие у них тенденции к
присоединению электронов. С другой стороны, отдача единственного внеш ...