Диффузионная модель процесса ВГ.
n эффективность геттерирования является функцией температуры, причем существует оптимальная температура для максимальной эффективности этого механизма геттерирования;
n геттер (преципитат SiO2) действует не только как сток для примесей, но и как источник междоузлий Si, которые активируют процесс ВГ;
n собственные междоузлия кремния, инжектируемые растущим преципитатом в объем кристалла, взаимодействуют с геттерируемыми атомами, и напряжения влияют на увеличение дрейфового потока.
Смотрите также
Абсорбционные оптические методы
Абсорбционные
оптические методы. Атомно-абсорбционный анализ. Молекулярно-абсорбционный
анализ. Фотометрия (колориметрия, фотоколориметрия, спектрофотометрия)
Методы
анализа, о ...
Основы теории и основные понятия процесса хроматографического разделения
Процесс
хроматографического разделения очень сложен, тем не менее, его отдельные стадии могут быть смоделированы и представлены в
виде уравнений, достаточно точно и верно отражающих реальный ...
Влияние физических и химических факторов на основность алкиламинов
...
