Аппаратура и методы исследования слоёв b-дикетонатов.

РФА полученных плёнок проводили на дифрактометре ДРОН-3М на фильтрованном CuKa-излучении.

Ориентацию молекул в плёнках определяли методом комбинационного рассеяния света по разработанным в ИНХ СО РАН методикам, описанным в [31,32].

Рис.8.

1-Система управления

2- Подложка

3-Магнитные и электрические поля

4-Терморегулятор подложки

5-Модулятор

6-Терморегулятор испарителя

7-Испаритель

8-Вакуумная камера

9-Вакуумные клапаны

10-Диффузионный насос

11-Форвакуумный насос

Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложн ...