Эффекты, используемые в технологии СБИС
При высокой дозе имплантированного азота скорость окисления кремния уменьшается из-за образования нитрида кремния, тогда как появление дефектов, вводимых при имплантации B, Ar, As, Sb может привести к увеличению скорости окисления. С помощью этих эффектов можно изменять толщину окисла в различных областях приборов СБИС.
В другом случае окислы с поврежденной поверхностью используются для уменьшения толщины маски по краям вытравленных в маске окон, при этом поверхностная область стравливается быстрее, чем бездефектные участки.
Смотрите также
Введение
Один чудак из партии
геологов
Сказал
мне, вылив грязь из сапога ...
Качественный анализ анионов
Цель аналитической химии - установление качественного и количественного
состава вещества или смеси веществ. В соответствии с этим аналитическая химия делится
на качественный и количественны ...
Основные типы химической связи
Вам известно, что атомы могут соединяться друг с
другом с образованием как простых, так и сложных веществ. При этом образуются
различного типа химические связи: ионная, ковалентная (неполярн ...