Эффекты, используемые в технологии СБИС
При высокой дозе имплантированного азота скорость окисления кремния уменьшается из-за образования нитрида кремния, тогда как появление дефектов, вводимых при имплантации B, Ar, As, Sb может привести к увеличению скорости окисления. С помощью этих эффектов можно изменять толщину окисла в различных областях приборов СБИС.
В другом случае окислы с поврежденной поверхностью используются для уменьшения толщины маски по краям вытравленных в маске окон, при этом поверхностная область стравливается быстрее, чем бездефектные участки.
Смотрите также
Атмосфера
...
Химия парфюмерно-косметических изделий
Слово « косметика» происходит от
греческого слова kosmetike,
что означает « искусство украшать себя», а «парфюмерия»- от французского
parfum, те приятный запах, духи.
Письменные источник ...