Эффекты, используемые в технологии СБИС
При высокой дозе имплантированного азота скорость окисления кремния уменьшается из-за образования нитрида кремния, тогда как появление дефектов, вводимых при имплантации B, Ar, As, Sb может привести к увеличению скорости окисления. С помощью этих эффектов можно изменять толщину окисла в различных областях приборов СБИС.
В другом случае окислы с поврежденной поверхностью используются для уменьшения толщины маски по краям вытравленных в маске окон, при этом поверхностная область стравливается быстрее, чем бездефектные участки.
Смотрите также
Приложение 2
Добыча нефти, включая
газовый конденсат в СССР по годам
Годы 1920 1940 1950 1960 1970 1975 1980 1985
_______________________________________________________
Кол-во ...
Идеи алхимии
Алхимия
(позднелат. alchemia, alchimia, alchymia) - своеобразное явление культуры,
особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего
средневековья. Слово «алхимия» произво ...
Жирорастворимые витамины
Витамины – это
низкомолекулярные органические вещества различной химической структуры, обладающие
разнообразным спектром физиологического действия.
«Vita»
- жизнь, «amin» - азот, то есть ...