Эффекты, используемые в технологии СБИС
При высокой дозе имплантированного азота скорость окисления кремния уменьшается из-за образования нитрида кремния, тогда как появление дефектов, вводимых при имплантации B, Ar, As, Sb может привести к увеличению скорости окисления. С помощью этих эффектов можно изменять толщину окисла в различных областях приборов СБИС.
В другом случае окислы с поврежденной поверхностью используются для уменьшения толщины маски по краям вытравленных в маске окон, при этом поверхностная область стравливается быстрее, чем бездефектные участки.
Смотрите также
Элементарная биохимия
БИОХИМИЯ (биологическая химия) – биологическая наука, изучающая
химическую природу веществ, входящих в состав живых организмов, их превращения
и связь этих превращений с деятельностью органо ...
Автоматизация производства
Для стабильной работы спроектированной печи,
необходимо установить измерительные приборы рис. 45, что позволит следить и
управлять процессами происходящими в печи. Для этого необходимо установить
т ...