Эффекты, используемые в технологии СБИС
При высокой дозе имплантированного азота скорость окисления кремния уменьшается из-за образования нитрида кремния, тогда как появление дефектов, вводимых при имплантации B, Ar, As, Sb может привести к увеличению скорости окисления. С помощью этих эффектов можно изменять толщину окисла в различных областях приборов СБИС.
В другом случае окислы с поврежденной поверхностью используются для уменьшения толщины маски по краям вытравленных в маске окон, при этом поверхностная область стравливается быстрее, чем бездефектные участки.
Смотрите также
Свойства и применение железа
...
Отчет по лабораторной работе Термодинамика
...
Экономическое обоснование проекта
Расчет капитальных затрат на
создание проектируемого объекта
Таблица №28 - Расчет
капитальных затрат на здания и сооружения
Наименования
зданий и сооружений
Ед. изм.
...