Дефекты при ионном легировании и способы их устранения. Ионное каналирование
Эффект каналирования наблюдается при попадании иона в свободное пространство между рядами атомов. Как только ион попадает в это пространство, на него начинают действовать потенциальные силы атомных рядов, направляющие его в центр канала. В результате этого ион продвигается на значительные расстояния. Такой ион постепенно теряет энергию за счет слабых скользящих столкновений со стенками канала и, в конце концов, покидает эту область. Расстояние, проходимое ионом в канале, может в несколько раз превышать длину пробега иона в аморфной мишени.
Эффект каналирования характеризуется наличием "хвостов" концентрации атомов, выявляемых с помощью метода масспектрометрии вторичных ионов и "хвостов" концентрации свободных носителей зарядов, обнаруживаемых при проведении электрических измерений. Попытки устранения эффекта каналирования путем ориентации кремниевой монокристаллической подложки в наиболее плотно упакованных направлениях сводят его к минимуму, но не исключают полностью.
Были сделаны попытки практического использования эффекта каналирования при имплантации примеси на большую глубину. Однако в этом случае значительно затруднены управление профилем распределения имплантируемой примеси и получение воспроизводимых результатов из-за очень высоких требований к точности разориентации ионного пучка относительно основных кристаллографических направлений в подложке.
Смотрите также
Материальный баланс
Схему переработки можно разбить на 5 блоков:
Дробление и измельчение.
Грануляция и окисление в печи кипящего слоя.
Выщелачивание и фильтрация.
Осаждение и фильтрация.
Прокалка и су ...
Поиск новых фторидофосфатов лития и переходных металлов
Для современной техники очень
важны энергоемкие и портативные аккумуляторы. Используемые в них электродные
материалы обладают рядом недостатков и поэтому актуален поиск новых материалов.
В ...
Хром
К металлам побочных подгрупп периодической системы Д. И. Менделеева
относятся все d-элементы. Таких
подгрупп 10: скандия, титана, ванадия, хрома, марганца ...