Жидкофазная эпитаксия арсенида индия.
Несмотря на то, что получение эпитаксиальных слоев из паровой фазы является основным направлением в технологии изготовления полупроводниковых приборов процесс эпитаксиального оста из жидкой фазы в ряде случаев обладает некоторыми преимуществами к примеру
при получении сильнолегированных слоев;
p-n переходов высокого качества.
Выращивание эпитаксиальных слоев арсенида индия производится с использованием легкоплавких металлов или их смесей, которые могут быть как донорными так и акцепторными примесями в получаемых слоях.
На качество и электрофизические свойства эпитаксиальных слоев, выращиваемых из жидкой фазы, влияют следующие факторы:
скорость охлаждения раствора-расплава;
начальная равновесная температура раствора-расплава;
увеличение веса растворяющего вещества сверх равновесного значения;
соотношение объема расплава и контактирующей площади поверхности подложки с расплавом;
физико-химическая природа растворителя и растворимого вещества;
металлографическое состояние поверхности подложки;
чистота используемых в процессе веществ и конструкционных материалов.
Электронографические и металлографические исследования установили, что слои выращенные в высокотемпературных областях, имеют более совершенную структуру по сравнению с теми, которые которые получены в низкотемпературных областях.
Смотрите также
Кинетическое и термодинамическое исследование физико-химических процессов
Сущность
физико-химических методов анализа заключается в том, что на основании измерения
величины, характеризующей какое-нибудь свойство раствора, определяют
концентрацию в нем исследуемого ...
Генеральный план. Пояснения к схеме
генерального плана.
Проектируемый цех расположен
на территории г. Казань.
Площадь для проектирования
цеха имеет ровную поверхность.
Производственные здания
расположены с учетом безопасных расстояний, санитарных ...
Синтез гексагидроксоплатината калия
Платина и ее соединения широко используются в качестве
катализаторов во многих химических и электрохимических процессах, в частности,
в процессах окисления метанола и СО. Учитывая высокую ст ...