Пиролиз МОС.

Страница 2

возможность независимой регулировки исходных компонентов, что обеспечивает возможность получения эпитаксиальных слоев с любым заданным профилем распределения концентрации носителей заряда по толщине слоя;

отсутствие травящих агентов (HСl) в системе позволяет осуществлять рост эпитаксиальных слоев на гетероподложках;

возможность получать субмикронные эпитаксиальные слои (0.2-0.8 мкм), величина переходной области подложка-слой составляет 0.03-0.1 мкм.

Страницы: 1 2 

Смотрите также

Классификация металлов и их сплавов
...

Поиск структурно-химической информации в Internet
1.а)  Дифракционные методы-рентгеноструктурный анализ и нейронография-как важнейшие источники структурно-химической информации.        б) Их основы, возможности и ограничения.    в) ...

                        Выводы:
1.         Синтезированы и охарактеризованы бета-дикетонаты палладия. 2.         Проведено исследование колебател ...