Пиролиз МОС.
возможность независимой регулировки исходных компонентов, что обеспечивает возможность получения эпитаксиальных слоев с любым заданным профилем распределения концентрации носителей заряда по толщине слоя;
отсутствие травящих агентов (HСl) в системе позволяет осуществлять рост эпитаксиальных слоев на гетероподложках;
возможность получать субмикронные эпитаксиальные слои (0.2-0.8 мкм), величина переходной области подложка-слой составляет 0.03-0.1 мкм.
Смотрите также
Энтальпия образования индивидуальных веществ. Прогнозирование энтальпии образования методом Бенсона
Наилучшее решение
вопросов разработки процессов химической технологии и аппаратуры для их
проведения возможно лишь при наличии надежной информации по физико-химическим и
термодинамическим с ...
Выбор и обоснование схемы
автоматизации производственного процесса
Автоматизированные системы
управления – это человекомашинные системы, обеспечивающие автоматический сбор,
обработку информации и оптимизацию управления.
АСУТП предназначены для
выработки и реали ...
Периодический закон и Периодическая система элементов.
В 1969 году ученый
мир отметил юбилейную дату – 100-летие со дня открытия Периодического закона
химических элементов. В статье, посвященной столетию этого закона академик И.В.
Петрянов–Соколов писа ...