Пиролиз МОС.

Страница 2

возможность независимой регулировки исходных компонентов, что обеспечивает возможность получения эпитаксиальных слоев с любым заданным профилем распределения концентрации носителей заряда по толщине слоя;

отсутствие травящих агентов (HСl) в системе позволяет осуществлять рост эпитаксиальных слоев на гетероподложках;

возможность получать субмикронные эпитаксиальные слои (0.2-0.8 мкм), величина переходной области подложка-слой составляет 0.03-0.1 мкм.

Страницы: 1 2 

Смотрите также

Применение топлив, смазочных материалов и специальных жидкостей
...

Методы разделения иммуноглобулинов
Иммуноглобулины - основные защитные белки  организма,  так как они обладают свойствами различных антител.  Они содержатся в крови, молозиве и молоке, слюне и других жидкостях. С их ко­личест ...

Классификация металлов и их сплавов
...