Пиролиз МОС.
возможность независимой регулировки исходных компонентов, что обеспечивает возможность получения эпитаксиальных слоев с любым заданным профилем распределения концентрации носителей заряда по толщине слоя;
отсутствие травящих агентов (HСl) в системе позволяет осуществлять рост эпитаксиальных слоев на гетероподложках;
возможность получать субмикронные эпитаксиальные слои (0.2-0.8 мкм), величина переходной области подложка-слой составляет 0.03-0.1 мкм.
Смотрите также
Кислоты
Цель: познакомить учащихся с органическими и неорганическими кислотами,
присутствующими вокруг нас; подробно рассмотреть строение и свойства
неорганических кислот; научить работать с научной ...
От алхимии к научной химии
...
Синтез пиррольных интермедиатов для высокосопряженных порфиринов
...