Пиролиз МОС.
возможность независимой регулировки исходных компонентов, что обеспечивает возможность получения эпитаксиальных слоев с любым заданным профилем распределения концентрации носителей заряда по толщине слоя;
отсутствие травящих агентов (HСl) в системе позволяет осуществлять рост эпитаксиальных слоев на гетероподложках;
возможность получать субмикронные эпитаксиальные слои (0.2-0.8 мкм), величина переходной области подложка-слой составляет 0.03-0.1 мкм.
Смотрите также
Классификация металлов и их сплавов
...
Поиск структурно-химической информации в Internet
1.а)
Дифракционные методы-рентгеноструктурный анализ и нейронография-как важнейшие
источники структурно-химической информации.
б) Их основы, возможности и ограничения.
в) ...
Выводы:
1.
Синтезированы и охарактеризованы бета-дикетонаты
палладия.
2.
Проведено исследование колебател ...
