Система InAs-SiCl4-H2.
Эпитаксиальные пленки арсенида индия высокой чистоты можно получать с использованием в качестве транспортирующего агента тетрахлорид кремния.
Водород, насыщенный тетрахлоридом кремния, при температуре -30СО, подается во внутреннюю трубку реакционной камеры. Продукты разложения (водород, хлористый водород и дихлорид кремния) вместе с остатком тетрахлорида кремния поступают во внешнюю реакционную трубу, где взаимодействуют с первым источником арсенида индия. При этом на источнике растет пористая пленка кремния и образуется хлорид индия мышьяк. На втором источнике, предназначенном для полного восстановления хлоридов кремния, также осаждается небольшое количество кремния. Эпитаксиальное наращивание пленок арсенида индия проводится на одноименные подложки, расположенные за вторым источником. Этот процесс можно представить следующим
Последовательным решением:
в реакционной камере
SiCl4 ® SiCl2+2HCl,------------(19)
с источник арсенида индия
2InAs+ SiCl4+ SiCl2®2Si+2InCl+1/4As4,(20)
2InAs+SiCl4®4InCl+As4,------------(21)
на подложке
2InCl+As2+H2®2InAs+HCl.------(22)
Тетрахлорид кремния как транспортный агент в газотранспортных реакциях имеет преимущество перед другими хлоридами:
может быть получен особо высокой степени чистоты;
имеет высокое парциальное давление при относительно невысоких температурах;
не дает донорных уровней в эпитаксиальном слое.
Смотрите также
Химия в решении сырьевой проблемы
В наши дни, когда
человеческое развитие достигло высот, такие проблемы, как экология,
продовольствие, энергия заставляют задуматься о будующем.
Как мне кажется, эта
тема наиболее актуа ...
Влияние природы газа-носителя и его параметров на качество разделения веществ в газовой хроматографии
Рассмотрим
влияние природы газа-носителя и его параметров на качество разделения веществ.
Для этого, прежде всего, сформулируем требования, которые предъявляются к
элюенту в газовой хромато ...
Металлы и сплавы в химии и технике
Химические
элементы – это элементы образующие в свободном состоянии простые вещества с
металлической связью. Из 110 известных химических элементов 88-металлы и только
22-неметаллы.
Такие ...