Система InAs-SiCl4-H2.
Эпитаксиальные пленки арсенида индия высокой чистоты можно получать с использованием в качестве транспортирующего агента тетрахлорид кремния.
Водород, насыщенный тетрахлоридом кремния, при температуре -30СО, подается во внутреннюю трубку реакционной камеры. Продукты разложения (водород, хлористый водород и дихлорид кремния) вместе с остатком тетрахлорида кремния поступают во внешнюю реакционную трубу, где взаимодействуют с первым источником арсенида индия. При этом на источнике растет пористая пленка кремния и образуется хлорид индия мышьяк. На втором источнике, предназначенном для полного восстановления хлоридов кремния, также осаждается небольшое количество кремния. Эпитаксиальное наращивание пленок арсенида индия проводится на одноименные подложки, расположенные за вторым источником. Этот процесс можно представить следующим
Последовательным решением:
в реакционной камере
SiCl4 ® SiCl2+2HCl,------------(19)
с источник арсенида индия
2InAs+ SiCl4+ SiCl2®2Si+2InCl+1/4As4,(20)
2InAs+SiCl4®4InCl+As4,------------(21)
на подложке
2InCl+As2+H2®2InAs+HCl.------(22)
Тетрахлорид кремния как транспортный агент в газотранспортных реакциях имеет преимущество перед другими хлоридами:
может быть получен особо высокой степени чистоты;
имеет высокое парциальное давление при относительно невысоких температурах;
не дает донорных уровней в эпитаксиальном слое.
Смотрите также
Охрана труда сегодня, как никогда, актуальна
Опыт крупнейших мировых компаний показывает, что охрану труда высшие руководители считают одним из главных приоритетов. Так, из десятков показателей деятельности предприятия охрану труда и здоровья св ...
Химия парфюмерно-косметических изделий
Слово « косметика» происходит от
греческого слова kosmetike,
что означает « искусство украшать себя», а «парфюмерия»- от французского
parfum, те приятный запах, духи.
Письменные источник ...
Синтез м-нитробензальдегида
Данная
исследовательская работа проведена для получения м-нитробензальдегида и
подробного изучения свойств альдегидов, которые широко используются в промышленности, в органическом
синтезе и ...