Система In-HCl-AsH3-H2.
Принципиальными технологическими преимуществами гидридов являются следующие:
летучие ковалентные гидриды можно получать из всех наиболее важных в полупроводниковой технике элементов;
свойства гидридов позволяют успешно применять очистку, основанную на трех фазовых переходах (жидкость- пар, твердое- пар, твердое- жидкость), а также эффективные методы газовой очистки (сорбции, ионного обмена);
содержание основного элемента в гидриде выше, чем в любом другом соединении;
гидриды имеют малую реакционную способность по отношению к конструкционным материалам.
Недостатками гидридов являются их высокая токсичность и взрывоопасность.
При выращивании эпитаксиальных слоев этой системы мышьяк при комнатной температуре находится в газообразном состоянии, что обеспечивает постоянство состава газовой фазы и гибкость процесса легирования.
xIn+HCl xInCl+(1-x)HCl+x/2H2,------(17)
где х - мольная доля HСl участвующая в реакции (сильно зависит от температуры). Следует отметить, что реакция протекает не до конца, т.е. химическое равновесие не наступает. Наиболее вероятной причиной наблюдаемого отклонения от химического равновесия является геометрия установки и значительные скорости потока газа. Гидриды элементов V группы, в том числе и AsH3, термически неустойчивы при температурах, обычно используемых при выращивании эпитаксиальных слоев. Основные реакции осаждения следующие:
3InCl+1/4As4+1/2H2 « InAs+HCl.(18)
При получении эпитаксиальных слоев арсенида индия с помощью системы In-HCl-AsH3-H2 является гибким методом наращивания. Качество слоев, полученных с помощью этой системы, обычно эквивалентно или даже превосходит качество слоев, полученных с участием других систем и методов, за исключением хлоридной системы In-AsCl3-H2.
Смотрите также
Расчет производительности труда.
Производительность
труда рассчитывается в натуральном выражении как выработка в год на одного
рабочего (ПТр), на одного основного рабочего (ПТо.р) и на
одного работающего в целом (ПТ).
ПТ=Q/Л
...
Алкалоиды маклейи
Цель работы
- Знакомство с
химическим строением и свойствами алкалоидов маклейи мелкоплодной
- Использование
свойств алкалоидов маклейи для их выделения из растительного сырья.
...