Эпитаксиальное наращивание арсенида индия из газовой фазы.
Газотранспортные процессы, в основе которых лежат обратимые химические реакции, широко применяются для получения эпитаксиальных структур полупроводниковых соединений А3В5. Основными достоинствами процесса получения эпитаксиальных слоев арсенида индия из газовой фазы в проточной системе являются:
простота конструктивного оформления процесса;
низкое пересыщение вещества над растущим кристаллом;
сравнительно невысокие температуры кристаллизации, возможность предотвращения загрязнения материалом контейнера;
возможность управления процессом роста изменением скорости потока и концентрации транспортирующего агента;
широкие возможности легирования слоев различными примесями;
возможность автоматизации процесса;
осуществление непрерывного процесса;
возможность получение многослойных структур и заданной морфологии.
Суммарные реакции, наиболее часто используемых для осаждения эпитаксиальных слоев арсенида индия и переноса компонентов, в общем виде мощно представить следующим образом:
4InГ3+As4+6H2«4InAs+12HГ;------(8)
3As+2InГ3+3/2H2«3AsГ+2In+3HГ,----------(9)
3AsГ+2In«2InAs+AsГ3;------(10)
In+As«InAs;------------(11)
2InAs+3Г2«InГ3+As2;------(12)
2InAs+H2O«In2O+As2+H2;------(13)
где Г - галоген. Арсенид индия в виде эпитаксиальных слоев получают методами транспортных реакций либо синтезом из элементов, либо пересублимацией соединения. Для переноса чаще всего используют галоиды (трихлориды элементов III и V групп, хлористый водород) и воду. Галоидные системы (хлоридные, йодидные) имеют преимущества перед системой H2O-H, поскольку хлор и йод являются нейтральными примесями для арсенида индия.
Смотрите также
Синтех азотной кислоты
Азотная
кислота по объему производства занимает среди других кислот второе место после
серной кислоты. Все возрастающий объем производства HNO3
объясняется огромным значением азотной кислот ...
Заключение
В результате исследований был опредёлён оптимальный химический
состав композиции для шпаклевания листа из ударопрочного полистирола и АВС. Рекомендуемые
соотношения реагентов приведены в та ...
Идеи алхимии
Алхимия
(позднелат. alchemia, alchimia, alchymia) - своеобразное явление культуры,
особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего
средневековья. Слово «алхимия» произво ...