Эпитаксиальное наращивание арсенида индия  из газовой фазы.

Научная литература / Свойства арсенида индия / Эпитаксиальное наращивание арсенида индия  из газовой фазы.

Газотранспортные процессы, в основе которых лежат обратимые химические реакции, широко применяются для получения эпитаксиальных структур полупроводниковых соединений А3В5. Основными достоинствами процесса получения эпитаксиальных слоев арсенида индия из газовой фазы в проточной системе являются:

простота конструктивного оформления процесса;

низкое пересыщение вещества над растущим кристаллом;

сравнительно невысокие температуры кристаллизации, возможность предотвращения загрязнения материалом контейнера;

возможность управления процессом роста изменением скорости потока и концентрации транспортирующего агента;

широкие возможности легирования слоев различными примесями;

возможность автоматизации процесса;

осуществление непрерывного процесса;

возможность получение многослойных структур и заданной морфологии.

Суммарные реакции, наиболее часто используемых для осаждения эпитаксиальных слоев арсенида индия и переноса компонентов, в общем виде мощно представить следующим образом:

4InГ3+As4+6H2«4InAs+12HГ;------(8)

3As+2InГ3+3/2H2«3AsГ+2In+3HГ,----------(9)

3AsГ+2In«2InAs+AsГ3;------(10)

In+As«InAs;------------(11)

2InAs+3Г2«InГ3+As2;------(12)

2InAs+H2O«In2O+As2+H2;------(13)

где Г - галоген. Арсенид индия в виде эпитаксиальных слоев получают методами транспортных реакций либо синтезом из элементов, либо пересублимацией соединения. Для переноса чаще всего используют галоиды (трихлориды элементов III и V групп, хлористый водород) и воду. Галоидные системы (хлоридные, йодидные) имеют преимущества перед системой H2O-H, поскольку хлор и йод являются нейтральными примесями для арсенида индия.

Смотрите также

Нефть
...

Кубический нитрид бора
Группа полупроводниковых соединений типа AIIIBV на основе бора - одна из наименее изученных среди полупроводниковых соединений с алмазоподобной структурой. Однако эти соединения представ ...

Ассортимент, качество и состав тяжелых видов моторных топлив
  Стандарт на котельное топливо — ГОСТ 10585—75 предусматривает выпуск четырех его марок: флотских мазутов Ф-5 и Ф-12, которые по вязкости классифицируются как легкие топлива, топочных мазу ...