Арсенид индия. Свойства, применение. Особенности получения эпитаксиальных пленок. Введение.
Эпитаксиальный арсенид индия - перспективный материал электронной техники. Высокая подвижность электронов в арсениде индия прямозонная структура позволяют использовать его для изготовления высокоэффективных электронных и оптоэлектронных приборов, в частности быстродействующих транзисторов и интегральных схем, фотоприемных детекторов ИК - диапазона, инжекционных лазеров с длиной волны »3,5 мкм.
Однако широкое использование тонкопленочных структур арсенида индия сдерживается отсутствием полуизолирующих подложек в связи с малой шириной запрещенной зоны арсенида индия. Следует также отметить недостаточную механическую прочность материала. Указанные проблемы могут быть преодолены, по крайней мере частично, при гетероэпитаксиальном выращивании арсенида индия. В этом случае, как правило, эпитаксию проводят на подложках арсенида галлия с ориентацией поверхности (001).
Значительное рассогласование параметров решеток арсенида индия и арсенида галлия 7.4% приводит при получении гетероэпитаксиальных пленок арсенида индия и арсенида галлия методами газотранспортной и жидкофазной эпитаксии к формированию переходного слоя значительной толщины и к большей плотности морфологических и структурных дефектов. Это обусловлено ограничениями как физического характера, присущим данным эпитаксиальным технологиям, так и ограничениям, связанными с “ненаблюдаемостью” процесса роста.
Смотрите также
Источники возбуждения спектров
В практике
атомно-эмиссионного спектрального анализа в качестве источников возбуждения
спектров применяют пламя, электрические дуги постоянного и переменного тока,
низко- и высоковольтную конденсир ...
Благородные газы
К благородным, или инертным, газам
относятся: гелий Не, неон Ne, аргон Ar, криптон Kr,
ксенон Хе, радон Rn. Они относятся к VIII группе, главной
подгруппе периодической системы химических э ...
Химия в сельском хозяйстве и её направления
Химизация — это одно из направлений научно-технического прогресса,
основанное на широком применении химических веществ, процессов и методов в
различных отраслях, например в сельском хозяй ...