Получение и исследование пленок бета-дикетонатов палладия(II).

Полезные материалы / Колебательные спекторы бета-дикетонатов палладия (II) и их интерпретация /                         Результаты и их обсуждение. / Получение и исследование пленок бета-дикетонатов палладия(II).
Страница 5

(в таблицах приняты следующие обозначения: n(ху) – валентное колебание с участием атомов х и у, d(хуz) – деформация угла, образованного атомами хуz, dхелат – деформация хелатного цикла в целом, при котором участвуют все связи и углы в равной степени, d - деформационное колебание)

На основе выше перечисленных данных по температурной зависимости давления пара бета-дикетонатов были оптимизированы режимы напыления пленок данных хелатов. Найдено, что оптимальная температура испарения Pd(aa)2 100-110 оС, Pd(dbm)2– 220-230 оС остаточное давление в реакторе – 5×10-5 Торр.

Методом рентгенофазового анализа было установлено, что плёнка Pd(aa)2 поликристаллическая, а плёнка Pd(dbm)2 рентгеноаморфна. На рисунке 14 представлены дифрактограммы пленки и порошка Pd(aa)2. Интенсивности дифракционных линий свидетельствуют о наличии текстуры в пленке. В пленке Pd(aa)2 плоскости (101) и (-101) кристаллитов ориентированы преимущественно параллельно поверхности подложки при этом угол наклона молекул Pd(aa)2 относительно плоскости подложки составляет 840 (рис.15).

Рис. 15. Ориентация молекул Pd(aa)2 в плёнке (поверхность подложки совпадает с плоскостью листа).

Страницы: 1 2 3 4 5 

Смотрите также

Титан
...

Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложн ...

Серебро. Общая характеристика
СЕРЕБРО Ag Базовые характеристики Порядковый номер 47 Атомный вес 107,870 у.е. Валентность I, ...