Получение и исследование слоёв b-дикетонатов палладия. Нанесение слоёв b-дикетонатов палладия.
Для получения плёнок b-дикетонатов палладия использовался метод испарения исходного соединения из разработанного молекулярного источника паров. В качестве источника паров служила разработанная камера из стали с эффузионным отверстием. Диаметр отверстия составлял 0,030 см. Эффузионная камера помещалась в нагревательный блок из нержавеющей стали. Источник был смонтирован на стандартном держателе универсального вакуумного поста ВУП-5М. Температуру испарителя с помощью терморегулятора ПИТ-3 и контролировали хромель-алюмелевой термопарой. Температура подложки при напылении оставалась комнатной (» 180С). Расстояния от эффузионного отверстия до подложки рассчитаны с учётом углового распределения интенсивности молекулярного пучка формируемого эффузионным отверстием, для получения равномерных в пределах допусков плёнок (на уровне 5%) на подложках диаметром » 20 мм. Напыление производили в вакууме при P = 10-6 torr. Схема установки для получения пеленок представлена на
рисунке 9.
Смотрите также
Азот и фосфор
Пятая группа Периодической системы включает два типических элемента
азот и фосфор – и подгруппы мышьяка и ванадия. Между первым и вторым
типическими элементами наблюдается значительное ...
Химическая связь. Строение молекул.
Свойства химических соединений зависят от
состава молекул, их строения и вида связи между атомами
Молекулой называют устойчивое образование
(систему) из двух и более атомов.
Совокупность сил,
...
Оксисоединения
Под оксисоединениями
понимают органические соединения содержащие в составе своей структурной формулы
одну или несколько гидроксильных групп (OH). Таковыми являются все спирты и
фенолы.
...