Получение и исследование слоёв b-дикетонатов палладия. Нанесение слоёв b-дикетонатов палладия.
Для получения плёнок b-дикетонатов палладия использовался метод испарения исходного соединения из разработанного молекулярного источника паров. В качестве источника паров служила разработанная камера из стали с эффузионным отверстием. Диаметр отверстия составлял 0,030 см. Эффузионная камера помещалась в нагревательный блок из нержавеющей стали. Источник был смонтирован на стандартном держателе универсального вакуумного поста ВУП-5М. Температуру испарителя с помощью терморегулятора ПИТ-3 и контролировали хромель-алюмелевой термопарой. Температура подложки при напылении оставалась комнатной (» 180С). Расстояния от эффузионного отверстия до подложки рассчитаны с учётом углового распределения интенсивности молекулярного пучка формируемого эффузионным отверстием, для получения равномерных в пределах допусков плёнок (на уровне 5%) на подложках диаметром » 20 мм. Напыление производили в вакууме при P = 10-6 torr. Схема установки для получения пеленок представлена на
рисунке 9.
Смотрите также
Возникновение и развитие науки химии
С незапамятных
времён человек,сталкиваясь с различными явлениями природы,накапливая сведения о
нихи об окружающих его предметах,всё чаще использовал их себе на благо.Человек
заметил,что под ...
Влияние температуры на скорость химической реакции
...
Первая группа периодической системы
Структура внешних электронных слоев в атомах элементов
I группы позволяет прежде всего предполагать отсутствие у них тенденции к
присоединению электронов. С другой стороны, отдача единственного внеш ...